SiCウエハは、シリコン（Si）と炭素（C）で構成される化合物半導体素材を薄い板状にしたものです。従来のシリコンウエハと比べて、高温耐性・高耐圧性・熱伝導性に優れており、パワー半導体分野で注目を集めています。

 

SiCウエハは、パワーLSI用や高輝度LED用として、今後さらに需要の拡大が期待されています。当社では、4インチ・6インチに加え、主流となりつつある8インチウエハも取り扱っております。

 

また、ウエハの表面薄膜化・金属成膜加工などの各種加工にも対応しております。